产品概述

世界极高分辨率的中阶梯光栅光谱仪

ELIAS 发射谱线分析光谱仪在利特罗（Littrow）结构中拥有最高的光谱解析能力-用于高分辨率的发射和吸收谱线的分析，尤其是准分子激光光刻技术。

ELIAS 发射谱线分析光谱仪实现超大中阶梯光栅的理论分辨率得益于逼近衍射极限的消色差成像光路与足够高的线色散来确保以5～10个像素（CCD）来解析光谱谱线的半高宽

ELIAS 发射谱线分析光谱仪不同于靠干涉方式测量光谱的分析设备，ELIAS的中阶梯光栅的高衍射级次及高级次等效于零级的衍射能量分布，可通过CCD实现宽光谱直拍，因此ELIAS非常适合脉冲激光光谱的分析应用（通过外部TTL触发可协同激光器工作）。

特点

● 光阑：f/50

● 最大波长范围：157-1,100nm（λmax range)

● 同步探测范围：8-400pm(λsimul)

● 波长范围：190-550nm(λtyp)

● 分辨率：85-240fm（FWHM)

优势

● Intensity dynamics of up to 4 orders

● 极高光谱解析能力(2.5 million-10 million)

● 极高成像质量

● 简单没有失误的操作控制

● Motorized optomechanics

应用

● 激光诱导击穿光谱（LIBS)

● 准分子激光光刻技术

● 测量二极管激光器的光谱、时间稳定度和固态激光器的发

参数

所有ELIAS系列光谱仪的光学设计都与标准版本ELIAS Ⅰ相同。

ELIAS Ⅰ: ELIAS系列的标准版

ELIAS Ⅱ: 相较ELIAS Ⅰ拥有更高的光谱解析能力对于时间分辨光谱的测量，能显菩提高信噪比。

ELIAS Ⅲ: 集成了反光镜的ELIAS Ⅱ的增强型，可以使用四次中阶梯光栅，使得其光谱分析能力是ELIAS Ⅱ的四倍。

ELIAS LD: 低色散的ELIAS型号，无法识别5-10pixel的半高宽，但是可以将自由光谱范围增加三倍，而不显著降低与ELIAS Ⅰ相比的光谱分辨能力。

WAVEMETER: ELIAS Ⅰ 固定用于193nm波长的光谱分析的型号。

ELIAS VUV: ELIAS Ⅰ的vacuum-suited型号，用于波长为157nm的F2激光的光谱分析

Model	ELIAS Ⅰ &  ELIAS VUV		LIAS Ⅱ	ELIAS Ⅲ	ELIAS-LD		WAVEMETER
Pass	single	double	double	quadruple	single	double
Wavelength [nm]	λsimul [pm]
157	45	14	-	-	152	49
193	48	15	16.4	8.4	170	52	50
248	64	20	22.5	11.5	227	71
266	73	25	29.7	15	275	92
532	146	49	59.4	29.9	551	185
766	244	82	92.5	47.5	846	293
1064	292	98	200	101	-	626
Wavelength [nm]	FWHM [pm]
157	0.254	0.083	-	-	0.31	0.10
193	0.283	0.086	0.06	0.03	0.34	0.11	0.34
248	0.376	0.117	0.082	0.041	0.46	0.15
266	0.428	0.147	0.112	0.056	0.55	0.19
532	0.856	0.294	0.225	0.112	1.10	0.37
766	1.400	0.482	0.339	0.170	1.7	0.59
1064	1.711	0.588	0.45	0.225	-	1.25