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50nm分辨率闭环控制平台

相关应用:

高分辨率

高重复定位精度

5相步进电机

闭环控制

由于采用滚珠丝杠驱动，与压电平台相比，可移动距离较长，有各种行程和台面尺寸可供选择。


从提高可用性的观点出发，实现了基于AutoConfig功能的平台分辨率自动识别。


提供NFS系列闭环控制平台用控制器SHRC-203


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