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1nm分辨率闭环控制平台

相关应用:

高分辨率

高重复定位精度

5相步进电机

闭环控制

由于采用滚珠丝杠驱动,与压电平台相比,可移动距离较长,有各种行程和台面尺寸可供选择。


提高可用性的观点出发,实现了基于AutoConfig功能的平台分辨率自动识别。


供NFS系列闭环控制平台用控制器SHRC-203。

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产品概述

1nm分辨率闭环控制平台
分辨率1nm

1nm分辨率的平台有6种台面尺寸可供选择。


NPS系列电缆
行程 [mm]
204050100
NPS系列闭环控制平台用电缆
电机电缆D15H12A-RC-3
光栅尺电缆DM15HD14A-RC-3
技术指标

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