1nm分辨率闭环控制平台
分辨率1nm
1nm分辨率的平台有6种台面尺寸可供选择。

行程 [mm] | |||
20 | 40 | 50 | 100 |
NPS系列闭环控制平台用电缆 | |
电机电缆 | D15H12A-RC-3 |
光栅尺电缆 | DM15HD14A-RC-3 |
技术指标
高分辨率
高重复定位精度
5相步进电机
闭环控制
由于采用滚珠丝杠驱动,与压电平台相比,可移动距离较长,有各种行程和台面尺寸可供选择。
提高可用性的观点出发,实现了基于AutoConfig功能的平台分辨率自动识别。
供NFS系列闭环控制平台用控制器SHRC-203。
1nm分辨率的平台有6种台面尺寸可供选择。
行程 [mm] | |||
20 | 40 | 50 | 100 |
NPS系列闭环控制平台用电缆 | |
电机电缆 | D15H12A-RC-3 |
光栅尺电缆 | DM15HD14A-RC-3 |