HR4000高分辨率光谱仪
HR4000高分辨率光谱仪配有全新的Toshiba 3648像素CCD阵列探测器,光学分辨率最高可达0.02nm(FWHM),适合应用于激光特征分析、原子发射谱线分析等领域。
典型应用领域
  • 半导体刻蚀终点监测
  • VCSEL光谱检测,VCSEL光谱漂移
  • TOF光谱,TOF光谱漂移
  • 化学研究
  • 气体吸收测量
  • 国土安全和危险品检测
  • 涂料与图层分析
  • 食品分析
  • 宝石鉴定
特征
  • USB2.0接口
  • 线阵CCD探测器
  • 支持多种触发模式
  • 支持模拟输出
HR4000
探测器  
 
类型
线阵硅基CCD探测器
探测器范围
200-1100nm
有效像素
3648
像元尺寸
8μm×200μm
像元井深
~100000电子
灵敏度
130光子/count@400nm
60光子/count@400nm
光学参数
 
波长范围
取决于光栅
光学分辨率
~0.02-8.40nm(FWHM)
信噪比
300:1
A/D分辨率
14位
暗噪声
12 RMS计数值
动态范围
1300:1
积分时间
3.8ms-10s
杂散光
600nm处:<0.05%
435nm处:<0.10%
校正线性度
>99%
光学平台
 
设计
f/4,对称交叉式Czerny-Turner
焦距
101.6mm入射与出射
入射孔径
5,10,25,50,100或200μm
光栅选择
14种光栅可供选择
光纤连接器
SMA905光纤接口(0.22数值孔径)
物理参数
 
外型尺寸
148.6×104.8×45.1mm
重量      
570克
电学参数
 
功耗
450mA@5V DC
数据转换速度
每4毫秒传输一幅全光谱,使用USB2.0接口
输入/输出
10位板载可自定义数字GPIO口
触发模式
4种